Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120256| Title: | ОСОБЕННОСТИ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ЗАВИСИМОСТИ УДЕЛЬНОГО КОНТАКТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К n+-n СТРУКТУРАМ КРЕМНИЯ |
| Authors: | Беляев, А. Е. Болтовец, Н. С. Саченко, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | В диапазоне температур 120-380 К в вертикальной геометрии измерены температурные зависимости удельного контактного сопротивления ρс(Т) омических контактов Au–Ti–Pd2Si –n+–n-Si со ступенькой легирования, изготовленной диффузией или ионным легированием. Установлено, что в образцах обоих типов ρс во всем измеренном интервале температур растет по закону, близкому к квадратичному. Экспериментальные зависимости ρс(Т) описаны теоретически в предположении, что между сильнолегированным n+– слоем и подложкой существует тонкий высокоомный слой Si. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120256 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Беляев-Конакова.pdf | 448,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.