Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120251| Заглавие документа: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ В ПРИПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ИМПУЛЬСНОГО МОЩНОГО ИОННОГО ПУЧКА |
| Авторы: | Актаев, Н. Е. Ремнев, Г. Е. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | В работе изучается импульсное воздействие мощного ионного пучка на кремниевую мишень. Показано, что в результате этого воздействия формируется большой температурный градиент в приповерхностной области мишени, вызывающий диффузию атомов углерода, адсорбированного на кремниевой поверхности. Установлено, что значение концентрации диффундирующего углерода вглубь мишени на несколько порядков превосходит типичное значение концентрации, характерное для имплантированных ионов. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120251 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Актаев.pdf | 2,14 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.