Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120251Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Актаев, Н. Е. | - |
| dc.contributor.author | Ремнев, Г. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-08T10:09:30Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-08T10:09:30Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120251 | - |
| dc.description.abstract | В работе изучается импульсное воздействие мощного ионного пучка на кремниевую мишень. Показано, что в результате этого воздействия формируется большой температурный градиент в приповерхностной области мишени, вызывающий диффузию атомов углерода, адсорбированного на кремниевой поверхности. Установлено, что значение концентрации диффундирующего углерода вглубь мишени на несколько порядков превосходит типичное значение концентрации, характерное для имплантированных ионов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ В ПРИПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ИМПУЛЬСНОГО МОЩНОГО ИОННОГО ПУЧКА | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Актаев.pdf | 2,14 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.