Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120251| Title: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ В ПРИПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ИМПУЛЬСНОГО МОЩНОГО ИОННОГО ПУЧКА |
| Authors: | Актаев, Н. Е. Ремнев, Г. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | В работе изучается импульсное воздействие мощного ионного пучка на кремниевую мишень. Показано, что в результате этого воздействия формируется большой температурный градиент в приповерхностной области мишени, вызывающий диффузию атомов углерода, адсорбированного на кремниевой поверхности. Установлено, что значение концентрации диффундирующего углерода вглубь мишени на несколько порядков превосходит типичное значение концентрации, характерное для имплантированных ионов. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120251 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Актаев.pdf | 2,14 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.