Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120132| Title: | ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С МЕТАЛЛИЧЕСКИМИ НАНОЧАСТИЦАМИ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА |
| Authors: | Степанов, А. Л. Нуждин, В. И. Валеев, В. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | Представлены результаты структурного исследования методом дифракции отраженных электронов (ДОЭ) нанопористого кремния (PSi), сформированного на поверхности монокристаллического (с-Si) и аморфизованного (а-Si) кремния низкоэнергетической имплантацией ионами серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ при дозе 1.5x1017 ион/см2 и плотности тока в ионном пучке 8 мкA/см2 при комнатной температуре облучаемой подложки Si. Аморфизация с-Si была осуществлена имплантацией ионами He+ с энергией 40 кэВ при той же дозе. Показано, что в результате ионной имплантации на с-Si и а-Si формируется тонкий аморфный слой PSi, в структуре которого присутствуют наночастицы серебра. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120132 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Степанов_А_Л.pdf | 631,14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.