Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120132Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Степанов, А. Л. | - |
| dc.contributor.author | Нуждин, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Валеев, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-07T14:54:21Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-07T14:54:21Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120132 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты структурного исследования методом дифракции отраженных электронов (ДОЭ) нанопористого кремния (PSi), сформированного на поверхности монокристаллического (с-Si) и аморфизованного (а-Si) кремния низкоэнергетической имплантацией ионами серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ при дозе 1.5x1017 ион/см2 и плотности тока в ионном пучке 8 мкA/см2 при комнатной температуре облучаемой подложки Si. Аморфизация с-Si была осуществлена имплантацией ионами He+ с энергией 40 кэВ при той же дозе. Показано, что в результате ионной имплантации на с-Si и а-Si формируется тонкий аморфный слой PSi, в структуре которого присутствуют наночастицы серебра. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С МЕТАЛЛИЧЕСКИМИ НАНОЧАСТИЦАМИ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Степанов_А_Л.pdf | 631,14 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.