Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120052| Title: | РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ И ХИМИЧЕСКИ СТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ЧЕТВЕРНЫХ НИТРИДНЫХ СИСТЕМ |
| Authors: | Жаканбаев, Е. А. Володин, В. Н. Тулеушев, Ю. Ж. Злоцкий, С. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | В работе показана технология синтеза защитных покрытий на основе сложных нитридов, полученных методом магнетронного осаждения с использованием эффекта термофлуктуационного плавления. В результате проведенной работы разработана технологическая оснастка, позволяющая получать смеси сложных нитридов с четырех независимых каналов распыления. Также разработана система очистки аргон-азотной смеси, подаваемой в камеру, и бесконтактная система привода внутри камерного перемещения подложек. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120052 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Жаканбаев-1.pdf | 563,77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.