Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120052Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Жаканбаев, Е. А. | - |
| dc.contributor.author | Володин, В. Н. | - |
| dc.contributor.author | Тулеушев, Ю. Ж. | - |
| dc.contributor.author | Злоцкий, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-06T13:42:54Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-06T13:42:54Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120052 | - |
| dc.description.abstract | В работе показана технология синтеза защитных покрытий на основе сложных нитридов, полученных методом магнетронного осаждения с использованием эффекта термофлуктуационного плавления. В результате проведенной работы разработана технологическая оснастка, позволяющая получать смеси сложных нитридов с четырех независимых каналов распыления. Также разработана система очистки аргон-азотной смеси, подаваемой в камеру, и бесконтактная система привода внутри камерного перемещения подложек. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ И ХИМИЧЕСКИ СТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ЧЕТВЕРНЫХ НИТРИДНЫХ СИСТЕМ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Жаканбаев-1.pdf | 563,77 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.