Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120052| Заглавие документа: | РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ И ХИМИЧЕСКИ СТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ЧЕТВЕРНЫХ НИТРИДНЫХ СИСТЕМ |
| Авторы: | Жаканбаев, Е. А. Володин, В. Н. Тулеушев, Ю. Ж. Злоцкий, С. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | В работе показана технология синтеза защитных покрытий на основе сложных нитридов, полученных методом магнетронного осаждения с использованием эффекта термофлуктуационного плавления. В результате проведенной работы разработана технологическая оснастка, позволяющая получать смеси сложных нитридов с четырех независимых каналов распыления. Также разработана система очистки аргон-азотной смеси, подаваемой в камеру, и бесконтактная система привода внутри камерного перемещения подложек. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120052 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Жаканбаев-1.pdf | 563,77 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.