Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120046| Title: | КОМБИНИРОВАННОЕ МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ОКСИДА ТИТАНА И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ ТИТАНА |
| Authors: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Прокопчик, К. Ю. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | Рассматривается структурная схема установки для комбинированного магнетронно-лазерного нанесения покрытий. В условиях одновременного реактивного магнетронного распыления и лазерной эрозии титана анализируются электрические характеристики магнетронного разряда. Установлено образование инициируемого лазерной плазмой импульсного дугового разряда и определено влияние условий осаждения на электрические характеристики этого разряда. Приведены условия комбинированного формирования пленочных покрытий на основе оксида титана. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120046 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков.pdf | 439,52 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.