Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/120046
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБурмаков, А. П.-
dc.contributor.authorКулешов, В. Н.-
dc.contributor.authorПрокопчик, К. Ю.-
dc.date.accessioned2015-10-06T13:18:09Z-
dc.date.available2015-10-06T13:18:09Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/120046-
dc.description.abstractРассматривается структурная схема установки для комбинированного магнетронно-лазерного нанесения покрытий. В условиях одновременного реактивного магнетронного распыления и лазерной эрозии титана анализируются электрические характеристики магнетронного разряда. Установлено образование инициируемого лазерной плазмой импульсного дугового разряда и определено влияние условий осаждения на электрические характеристики этого разряда. Приведены условия комбинированного формирования пленочных покрытий на основе оксида титана.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКОМБИНИРОВАННОЕ МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ОКСИДА ТИТАНА И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ ТИТАНАru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Бурмаков.pdf439,52 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.