Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120046| Заглавие документа: | КОМБИНИРОВАННОЕ МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ОКСИДА ТИТАНА И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ ТИТАНА |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Прокопчик, К. Ю. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | Рассматривается структурная схема установки для комбинированного магнетронно-лазерного нанесения покрытий. В условиях одновременного реактивного магнетронного распыления и лазерной эрозии титана анализируются электрические характеристики магнетронного разряда. Установлено образование инициируемого лазерной плазмой импульсного дугового разряда и определено влияние условий осаждения на электрические характеристики этого разряда. Приведены условия комбинированного формирования пленочных покрытий на основе оксида титана. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120046 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков.pdf | 439,52 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.