К моделированию технологии изготовления миниатюрных кремниевых приборов

Abstract

Приведено описание новой компьютерной программы – модели растворения кристаллов типа алмаза Diamond-4. В модели учтено влияние непрямых соседей на вероятность реализации элементарного акта процесса – удаления одного поверхностного атома. Тип поверхностного атома обозначается тройкой чисел (f, ds, ns), где f – число первых соседей, ds – число его прямых вторых соседей, ns – число непрямых вторых соседей. Всего поверхность рассматриваемых кристаллов может включать атомы 129 различных типов: 40 односвязных, 49 двухсвязных и 40 типов трехсвязных. Атомам каждого типа приписывается вероятность удаления, соответствующая энергии их связи с кристаллом и особенностям взаимодействия с растворителем.