Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/111583
Заглавие документа: К моделированию технологии изготовления миниатюрных кремниевых приборов
Авторы: Юхневич, А. В.
Майер, И. А.
Усенко, А. Е.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2014
Издатель: Издательский центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Аннотация: Приведено описание новой компьютерной программы – модели растворения кристаллов типа алмаза Diamond-4. В модели учтено влияние непрямых соседей на вероятность реализации элементарного акта процесса – удаления одного поверхностного атома. Тип поверхностного атома обозначается тройкой чисел (f, ds, ns), где f – число первых соседей, ds – число его прямых вторых соседей, ns – число непрямых вторых соседей. Всего поверхность рассматриваемых кристаллов может включать атомы 129 различных типов: 40 односвязных, 49 двухсвязных и 40 типов трехсвязных. Атомам каждого типа приписывается вероятность удаления, соответствующая энергии их связи с кристаллом и особенностям взаимодействия с растворителем.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/111583
ISBN: 978-985-553-234-8
Располагается в коллекциях:2014. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
p.245-247.pdf769,06 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.