Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/111562
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Поклонский, Н. А. | - |
dc.contributor.author | Горбачук, Н. И. | - |
dc.contributor.author | Шпаковский, С. В. | - |
dc.contributor.author | Бритько, П. С. | - |
dc.contributor.author | Цибулько, П. И. | - |
dc.date.accessioned | 2015-03-18T17:30:47Z | - |
dc.date.available | 2015-03-18T17:30:47Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-553-234-8 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/111562 | - |
dc.description.abstract | Исследовался импеданс МДП-структуры Al/Si3N4/n-Si в зависимости от частоты электрического поля. Предложены эквивалентные схемы замещения для случаев обогащения n-Si вблизи границы Si3N4/n-Si электронами и сильной инверсии (изменение типа электропроводности) n-Si вблизи этой границы под действием постоянного электрического напряжения между Al и n-Si. Показано, что для ЭС структуры Al/Si3N4/n-Si в режиме обогащения следует учитывать сопротивление n-Si, а в режиме сильной инверсии — дополнительную частотную дисперсию импеданса в области пространственного заряда. | ru |
dc.description.sponsorship | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Эквивалентные схемы замещения структуры металл (Al) – диэлектрик (Si3N4) – полупроводник (n-Si) в режимах сильной инверсии и обогащения | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
p.219-222.pdf | 279,13 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.