Структурно-фазовые превращения в легированных оловом слоях диоксида кремния

Abstract

Целью данной работы являлось изучение влияния режимов имплантации и постимплантационной термообработки на процессы структурных преобразований и оптические свойства системы «SiO2:Sn». Показано, что с увеличением дозы имплантации олова и температуры термообработок интенсивность фотолюминесценции в области 3,0—3,2 эВ существенно возрастает. Сравнение результатов с литературными данными позволяет сделать предположение, что интенсивная фотолюминесценция слоев SiO2 с большим содержанием олова может быть связана с излучающими центрами на дефектах дефицита кислорода (нейтральные кислородные дивакансии и моновакансии).