Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108142
Title: Формирование дефектно-примесной структуры и фотовольтаического эффекта в кремнии, обработанном компрессионными плазменными потоками
Authors: Углов, В. В.
Асташинский, В. М.
Квасов, Н. Т.
Кудактин, Р. С.
Кузьмицкий, А. М.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: В работе приводятся результаты исследований структуры приповерхностного слоя монокристаллического кремния, обработанного потоками компрессионной плазмы. Показано, что обработка монокристаллического кремния дырочного типа проводимости компрессионными плазменными потоками приводит к глубокой модификации приповерхностного слоя. При этом структура модифицированного слоя кремния осталась близка к монокристаллической. Исследования методом электронной дифракции показали, что кристаллографическая ориентация вблизи поверхности осталась (111). структура остаётся близкой к монокристаллической,
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108142
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.147-149.pdf393,42 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.