Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/108142
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Углов, В. В. | - |
dc.contributor.author | Асташинский, В. М. | - |
dc.contributor.author | Квасов, Н. Т. | - |
dc.contributor.author | Кудактин, Р. С. | - |
dc.contributor.author | Кузьмицкий, А. М. | - |
dc.date.accessioned | 2015-01-26T17:41:54Z | - |
dc.date.available | 2015-01-26T17:41:54Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-553-234-8 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/108142 | - |
dc.description.abstract | В работе приводятся результаты исследований структуры приповерхностного слоя монокристаллического кремния, обработанного потоками компрессионной плазмы. Показано, что обработка монокристаллического кремния дырочного типа проводимости компрессионными плазменными потоками приводит к глубокой модификации приповерхностного слоя. При этом структура модифицированного слоя кремния осталась близка к монокристаллической. Исследования методом электронной дифракции показали, что кристаллографическая ориентация вблизи поверхности осталась (111). структура остаётся близкой к монокристаллической, | ru |
dc.description.sponsorship | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Формирование дефектно-примесной структуры и фотовольтаического эффекта в кремнии, обработанном компрессионными плазменными потоками | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
p.147-149.pdf | 393,42 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.