Формирование дефектно-примесной структуры и фотовольтаического эффекта в кремнии, обработанном компрессионными плазменными потоками

Abstract

В работе приводятся результаты исследований структуры приповерхностного слоя монокристаллического кремния, обработанного потоками компрессионной плазмы. Показано, что обработка монокристаллического кремния дырочного типа проводимости компрессионными плазменными потоками приводит к глубокой модификации приповерхностного слоя. При этом структура модифицированного слоя кремния осталась близка к монокристаллической. Исследования методом электронной дифракции показали, что кристаллографическая ориентация вблизи поверхности осталась (111). структура остаётся близкой к монокристаллической,