Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107211
Title: Быстрая термическая обработка в технологических процессах синтеза дисилицида титана в модификациях С54 и С49 в системе TiN/Ti/Si
Authors: Маркевич, М. И.
Турцевич, А. С.
Стельмах, В. Ф.
Першукевич, П. П.
Чапланов, А. М.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: В работе исследовалось влияние быстрой термической обработки (БТО) в технологических процессах синтеза дисилицида титана в различных модификациях. Показано, что в системе TiN/Ti/Si БТО с использованием галогенных ламп позволяет сформировать слой дисилицида титана в двух модификациях: С54, имеющей низкое удельное сопротивление, и С49, обладающий полупроводниковыми свойствами (высокая фоточувствительность, люминесценция), что является основой для применения данного материала в оптоэлектронике .
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/107211
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.64-67.pdf568,3 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.