Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107211| Заглавие документа: | Быстрая термическая обработка в технологических процессах синтеза дисилицида титана в модификациях С54 и С49 в системе TiN/Ti/Si |
| Авторы: | Маркевич, М. И. Турцевич, А. С. Стельмах, В. Ф. Першукевич, П. П. Чапланов, А. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Аннотация: | В работе исследовалось влияние быстрой термической обработки (БТО) в технологических процессах синтеза дисилицида титана в различных модификациях. Показано, что в системе TiN/Ti/Si БТО с использованием галогенных ламп позволяет сформировать слой дисилицида титана в двух модификациях: С54, имеющей низкое удельное сопротивление, и С49, обладающий полупроводниковыми свойствами (высокая фоточувствительность, люминесценция), что является основой для применения данного материала в оптоэлектронике . |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107211 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.64-67.pdf | 568,3 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.