Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107211Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | - |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Стельмах, В. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Першукевич, П. П. | - |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-01-13T10:10:46Z | - |
| dc.date.available | 2015-01-13T10:10:46Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-553-234-8 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107211 | - |
| dc.description.abstract | В работе исследовалось влияние быстрой термической обработки (БТО) в технологических процессах синтеза дисилицида титана в различных модификациях. Показано, что в системе TiN/Ti/Si БТО с использованием галогенных ламп позволяет сформировать слой дисилицида титана в двух модификациях: С54, имеющей низкое удельное сопротивление, и С49, обладающий полупроводниковыми свойствами (высокая фоточувствительность, люминесценция), что является основой для применения данного материала в оптоэлектронике . | ru |
| dc.description.sponsorship | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Быстрая термическая обработка в технологических процессах синтеза дисилицида титана в модификациях С54 и С49 в системе TiN/Ti/Si | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.64-67.pdf | 568,3 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.