Уменьшение механических напряжений в кремниевых слоях структур кремний на сапфире при облучении импульсами белого света со стороны сапфировой подложки

Герасимов, А. Б.; Чирадзе, Г. Д.

Issue Date Author Title Subject

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107204

Title:	Уменьшение механических напряжений в кремниевых слоях структур кремний на сапфире при облучении импульсами белого света со стороны сапфировой подложки
Authors:	Герасимов, А. Б. Чирадзе, Г. Д.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2014
Publisher:	Издательский центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract:	В настоящей работе приводятся результаты сравнительных исследований фотомеханического эффекта (ФМЭ) на образцах гетероструктур кремний на сапфире (КНС) с разной толщиной кремниевого слоя, как на исходных, так и подвергнутых импульсному фотонному отжигу (ИФО) со стороны сапфировой подложки.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/107204
ISBN:	978-985-553-234-8
Sponsorship:	Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных исследований
Appears in Collections:	2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
p.43-46.pdf		226,7 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar