Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107204| Заглавие документа: | Уменьшение механических напряжений в кремниевых слоях структур кремний на сапфире при облучении импульсами белого света со стороны сапфировой подложки |
| Авторы: | Герасимов, А. Б. Чирадзе, Г. Д. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Аннотация: | В настоящей работе приводятся результаты сравнительных исследований фотомеханического эффекта (ФМЭ) на образцах гетероструктур кремний на сапфире (КНС) с разной толщиной кремниевого слоя, как на исходных, так и подвергнутых импульсному фотонному отжигу (ИФО) со стороны сапфировой подложки. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107204 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных исследований |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.43-46.pdf | 226,7 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.