Механизмы электропроводности в пленках нестехиометрического диоксида олова

Адамчук, Д. В.; Ксеневич, В. К.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107195

Title:	Механизмы электропроводности в пленках нестехиометрического диоксида олова
Authors:	Адамчук, Д. В. Ксеневич, В. К.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2014
Publisher:	Издательский центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract:	В представляемой работе тонкие пленки SnO2 получали методом магнетронного распыления на постоянном токе в плазме аргона. Напыление производилось на стеклянные подложки. В качестве мишени использовалось металлическое олово чистотой 99,99 %. Затем полученные пленки олова подвергали двухстадийному окислительному отжигу на воздухе. Ранее нами было установлено, что в результате магнетронного напыления с последующим окислительным отжигом формируется тонкая поликристаллическая пленка нестехиометрического SnO2 с присутствием фаз Sn2O3, Sn3O4 и SnO. Для выяснения особенностей электронного транспорта были проведены исследования температурных зависимостей проводимости тонких пленок диоксида олова.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/107195
ISBN:	978-985-553-234-8
Sponsorship:	Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных исследований
Appears in Collections:	2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Адамчук.pdf		325,4 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar