Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/102346
Title: Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородм, гелием, аргоном ни свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна; Белорусский государственный университет
Authors: Королик, Ольга Васильевна
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2010
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Целью работы является установление особенностей влияния ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на электрические, фотоэлектрические свойства пластин кремния и структуру их приповерхностной области, а также выявление закономерностей и механизмов формирования сигнала фотоЭДС промышленных пластин монокристаллического кремния. Наличие обнаруженной линии в спектрах фотоЭДС может быть использовано для диагностики качества поверхности кремниевых пластин, в частности, для диагностики поверхностных электронных состояний. Эффект формирования приповерхностного слоя, обогащенного кислородом, может служить основой для разработки нового технологического подхода к созданию диэлектрических слоев на поверхности пластин кремния при низких температурах.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/102346
Appears in Collections:Авторефераты кандидатских диссертаций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Korolik_synopsis.pdf468,54 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.