Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородм, гелием, аргоном ни свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна; Белорусский государственный университет

Abstract

Целью работы является установление особенностей влияния ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на электрические, фотоэлектрические свойства пластин кремния и структуру их приповерхностной области, а также выявление закономерностей и механизмов формирования сигнала фотоЭДС промышленных пластин монокристаллического кремния. Наличие обнаруженной линии в спектрах фотоЭДС может быть использовано для диагностики качества поверхности кремниевых пластин, в частности, для диагностики поверхностных электронных состояний. Эффект формирования приповерхностного слоя, обогащенного кислородом, может служить основой для разработки нового технологического подхода к созданию диэлектрических слоев на поверхности пластин кремния при низких температурах.