Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/102346
Заглавие документа: Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородм, гелием, аргоном ни свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна; Белорусский государственный университет
Авторы: Королик, Ольга Васильевна
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2010
Издатель: Минск : БГУ
Аннотация: Целью работы является установление особенностей влияния ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на электрические, фотоэлектрические свойства пластин кремния и структуру их приповерхностной области, а также выявление закономерностей и механизмов формирования сигнала фотоЭДС промышленных пластин монокристаллического кремния. Наличие обнаруженной линии в спектрах фотоЭДС может быть использовано для диагностики качества поверхности кремниевых пластин, в частности, для диагностики поверхностных электронных состояний. Эффект формирования приповерхностного слоя, обогащенного кислородом, может служить основой для разработки нового технологического подхода к созданию диэлектрических слоев на поверхности пластин кремния при низких температурах.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/102346
Располагается в коллекциях:Авторефераты кандидатских диссертаций

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Korolik_synopsis.pdf468,54 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.