Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/102346
Заглавие документа: | Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородм, гелием, аргоном ни свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна; Белорусский государственный университет |
Авторы: | Королик, Ольга Васильевна |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2010 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Целью работы является установление особенностей влияния ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на электрические, фотоэлектрические свойства пластин кремния и структуру их приповерхностной области, а также выявление закономерностей и механизмов формирования сигнала фотоЭДС промышленных пластин монокристаллического кремния. Наличие обнаруженной линии в спектрах фотоЭДС может быть использовано для диагностики качества поверхности кремниевых пластин, в частности, для диагностики поверхностных электронных состояний. Эффект формирования приповерхностного слоя, обогащенного кислородом, может служить основой для разработки нового технологического подхода к созданию диэлектрических слоев на поверхности пластин кремния при низких температурах. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/102346 |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты кандидатских диссертаций |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Korolik_synopsis.pdf | 468,54 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.