Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10150Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, А. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Миронов, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Заяц, Г. М. | - |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Макаревич, Ю. В. | - |
| dc.contributor.author | Мискевич, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-05-28T08:37:31Z | - |
| dc.date.available | 2012-05-28T08:37:31Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Международный конгресс по информатике: информационные системы и технологии: материалы международного научного конгресса 31 окт. – 3 нояб. 2011 г. : в 2 ч. Ч. 1. – Минск: БГУ, 2011. – C . 453-458. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-518-563-6 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10150 | - |
| dc.description | Секция 5. Компьютерные технологии в приборостроении | ru |
| dc.description.abstract | Разработан программный комплекс для моделирования процессов низкоэнергетической имплантации легирующих примесей в кремниевые структуры и постимплантационного быстрого термического отжига (БТО) этих структур. Проведен учет влияния на диффузию имплантированной примеси электрического поля, внутренних напряжений, связывания собственных междоузельных атомов кремния атомами углерода. Программное обеспечение интегрировано в среду программного комплекса ATHENA фирмы Silvaco Inc., что позволяет также проводить расчет электрофизических свойств субмикронных МОП-транзисторов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Моделирование технологических процессов субмикронной электроники | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Международный конгресс по информатике : информационные системы и технологии. Часть 1. | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| pages from Конференция_1. 453-458pdf.pdf | 342,75 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.