Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10030| Title: | Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем. Программа спецкурса |
| Authors: | Савицкий, Александр Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 25-May-2012 |
| Abstract: | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10030 |
| Appears in Collections: | Архив (Химия) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Программа рабочая по спецкурсу Тонкопленочные сенсоры.pdf | 294,16 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.