Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем. Программа спецкурса

Савицкий, Александр Александрович

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/10030

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Савицкий, Александр Александрович	-
dc.date.accessioned	2012-05-25T08:22:29Z	-
dc.date.available	2012-05-25T08:22:29Z	-
dc.date.issued	2012-05-25	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/10030	-
dc.description.abstract	Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем. Программа спецкурса	ru
dc.type	Learning Object	ru
Appears in Collections:	Архив (Химия)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Программа рабочая по спецкурсу Тонкопленочные сенсоры.pdf		294,16 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar