Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10030Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Савицкий, Александр Александрович | - |
| dc.date.accessioned | 2012-05-25T08:22:29Z | - |
| dc.date.available | 2012-05-25T08:22:29Z | - |
| dc.date.issued | 2012-05-25 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10030 | - |
| dc.description.abstract | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем. Программа спецкурса | ru |
| dc.type | Learning Object | ru |
| Располагается в коллекциях: | Архив (Химия) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Программа рабочая по спецкурсу Тонкопленочные сенсоры.pdf | 294,16 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.