Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2024 | ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Бринкевич, С. Д.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2025 | Индентирование пленок негативных фоторезистов для обратной литографии | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Танана, О. В.; Вабищевич, Н. В.; Исмайлов, Б. К. |
| 2024 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия диффузного отражения пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А. |
| ноя-2023 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2022 | Исследование структуры полиимидных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. Ф.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2008 | К проблеме идентификации | Зубова, О. А. |
| 2024 | Облученные электронами пленки полиимида PI2610 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Шуляковская, М. Б.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2025 | Оптические и прочностные свойства пленок негативного фоторезиста AZ nLOF 5510 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2025 | Отражательно-абсорбционная ИК Фурье-спектроскопия фоторезистивных плёнок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2025 | Пленки негативного фенолформальдегидного фоторезиста на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Гринюк, Е. В.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2025 | Пленки негативного фоторезиста AZ nLOF 5510, облученные электронами | Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Кенжаев, Зоир Тохир угли; Ластовский, С. Б. |
| 2025 | Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Колос, В. В.; Бринкевич, С. Д.; Вабищев, С. А. |
| 2024 | Прочностные свойства пленок фоторезиста AZ nLOF 5510 | Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2024 | Радиационно-индуцированные процессы в облученных электронами пленках негативного фенолформальдегидного фоторезиста на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2023 | Радиационно-индуцированные процессы в пленках негативного фоторезиста на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2023 | Спектры нарушенного полного внутреннего отражения облученных электронами пленок полиимида | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2022 | Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок негативного фоторезиста NFR 016 D4 | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2024 | Спектры поглощения фоторезистов для обратной литографии | Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Черный, В. В. |