Просмотр Авторы Володин, В. А.
Результаты 1 - 2 из 2
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2021 | Диффузия ионно-имплантированного германия из SiO2 в кремний и формирование фазы SiGe | Тысченко, И. Е.; Хмельницкий, Р. А.; Володин, В. А.; Попов, В. П. | |
2023 | Формирование фаз в структурах кремний-на-изоляторе, имплантированных ионами In+ и Sb+ | Тысченко, И. Е.; Чжан, Ж.; Гутаковский, А. К.; Вдовин, В. И.; Володин, В. А.; Попов, В. П. |