Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2008 | Низкотемпературное формирование силицидов платины для силовых диодов Шоттки | Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Конопляник, И. В.; Шабека, Е. П.; Соловьев, Я. А.; Турцевич, А. С. |
| 2016 | Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМС | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С. |
| 2018 | Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схем | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н. |
| ноя-2019 | Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В. |
| 2013 | Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В. |
| 2016 | Разработка нового способа изготовления транзистора со статической индукцией | Лагунович, Н. Л.; Турцевич, А. С.; Борздов, В. М. |
| 2022 | Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремния | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И. |
| 2013 | Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы | Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б.; Тарасик, М. И.; Турцевич, А. С.; Васильев, Ю. Б. |
| 2012 | ТЕПЛОВЫЕ ПАРАМЕТРЫ, СТРУКТУРА И ДЕФЕКТНОСТЬ ПОСАДКИ МОЩНЫХ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ | Васьков, О. В.; Кононенко, В. К.; Нисс, В. С.; Турцевич, А. С.; Рубцевич, И. И.; Соловьев, Я. А.; Керенцев, А. Ф. |
| 2012 | ФОРМИРОВАНИЕ БАРЬЕРОВ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ СИЛИЦИДНОГО НИКЕЛЬ-ПЛАТИНОВОГО СПЛАВА | Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Ковалева, Т. Б. |
| 2016 | Формирование межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектриком | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.; Кисель, А. М. |
| янв-2011 | Формирование нанослоев Ge пиролизом моногермана при пониженном давлении | Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Турцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.; Карпович, В. Б. |
| 2016 | Формирование слоев полицида титана для интегральных микросхем с субмикронными проектными нормами | Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Турцевич, А. С. |