Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/163724
Title: Формирование слоев полицида титана для интегральных микросхем с субмикронными проектными нормами
Authors: Наливайко, О. Ю.
Колос, В. В.
Турцевич, А. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 91–94.
Abstract: Настоящая работа посвящена исследованию возможности улучшения качества формирования полицида титана для интегральных микросхем с проектными нормами 0,35 мкм.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/163724
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
С.91-94_Наливайко.pdf445,17 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.