Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/90099
Title: Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО
Authors: Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Турцевич, А. С.
Шведов, С. В.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. С. 34-37- 2013. - №1. - С.
Abstract: On the basis of the even irradiation simulation onto the surface of the silicon wafer, covering formation of the phantom and actual images of the irradiation sources, the expressions were derived, describing distribution of the photon flow on the wafer area in dependence with on the geometrical dimensions of the camera and the distance from the wafer to the irradiation sources. On the basis of the conducted calculations there were determined the geometrical dimensions of the chamber and the place of the wafer positioning in it, ensuring the minimum unevenness of the photon flow onto its area. Meanwhile, it was indicated, that for each diameter of a wafer the appropriate geometrical dimensions of the chamber are required. На основании моделирования равномерности облучения по поверхности кремниевой пластины, учитывающего образование мнимых и действительных изображений источников излучения, получены выражения, описывающие распределение фотонного потока по площади пластины в зависимости от геометрических размеров камеры и расстояния от пластины до источников излучения. По проведенным расчетам установлены геометрические размеры камеры и место расположения в ней пластины, обеспечивающие минимальную неравномерность фотонного потока по ее площади. При этом показано, что для каждого диаметра пластины необходимы свои геометрические размеры камеры.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/90099
ISSN: 0321-0367
Appears in Collections:2013, №1 (январь)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
34-37.pdf361,86 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.