Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/89477| Title: | Оптический контроль процесса ионной очистки подложек перед напылением |
| Authors: | Климович, И. М. Зайков, В. А. Пилько, В. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Минск: Изд. центр БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника: Материалы IX Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–21 нояб. 2013 г. – Минск, 2013. - С. 181. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/89477 |
| ISBN: | 978-985-553-157-0 |
| Appears in Collections: | 2013. Квантовая электроника |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.