Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/89477
Title: Оптический контроль процесса ионной очистки подложек перед напылением
Authors: Климович, И. М.
Зайков, В. А.
Пилько, В. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2013
Publisher: Минск: Изд. центр БГУ
Citation: Квантовая электроника: Материалы IX Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–21 нояб. 2013 г. – Минск, 2013. - С. 181.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/89477
ISBN: 978-985-553-157-0
Appears in Collections:2013. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
181.pdf576,63 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.