Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48442
Заглавие документа: | Formation of carbon nanostructures using acetylene, argon-acetylene and argon-hydrogen-acetylene plasmas |
Авторы: | Marcinauskas, Liutauras Grigonis, Alfonsas Valincius, Vitas |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2013 |
Аннотация: | The amorphous carbon films were deposited on silicon-metal substrates by plasma jet chemical vapor deposition (PJCVD) and plasma enchanted CVD (PECVD). PJCVD carbon films have been prepared at atmospheric pressure in argon-acetylene and argon-hydrogen-acetylene plasma mixtures. The films deposited in Ar-C2H2 plasma are attributed to graphite-like carbon films. The formation of the nanocrystalline graphite was obtained in Ar-H2-C2H2 plasma. Addition of the hydrogen gas lead to the decrease of growth rate and the surface roughness of the coatings. The carbon nanotubes were obtained by PECVD using gold-chromium catalyst particles at low (≤ 450oC; p = 40 Pa ) temperature in pure acetylene plasma. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48442 |
Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Marсinauskas.pdf | 5,3 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.