Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48442
Заглавие документа: FORMATION OF CARBON NANOSTRUCTURES USING ACETYLENE, ARGON-ACETYLENE AND ARGON-HYDROGEN-ACETYLENE PLASMAS
Авторы: Marcinauskas, Liutauras
Grigonis, Alfonsas
Valincius, Vitas
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2013
Аннотация: The amorphous carbon films were deposited on silicon-metal substrates by plasma jet chemical vapor deposition (PJCVD) and plasma enchanted CVD (PECVD). PJCVD carbon films have been prepared at atmospheric pressure in argon-acetylene and argon-hydrogen-acetylene plasma mixtures. The films deposited in Ar-C2H2 plasma are attributed to graphite-like carbon films. The formation of the nanocrystalline graphite was obtained in Ar-H2-C2H2 plasma. Addition of the hydrogen gas lead to the decrease of growth rate and the surface roughness of the coatings. The carbon nanotubes were obtained by PECVD using gold-chromium catalyst particles at low (≤ 450oC; p = 40 Pa ) temperature in pure acetylene plasma.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48442
Располагается в коллекциях:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Marсinauskas.pdf5,3 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.