Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48442
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Marcinauskas, Liutauras | - |
dc.contributor.author | Grigonis, Alfonsas | - |
dc.contributor.author | Valincius, Vitas | - |
dc.date.accessioned | 2013-10-08T08:23:13Z | - |
dc.date.available | 2013-10-08T08:23:13Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48442 | - |
dc.description.abstract | The amorphous carbon films were deposited on silicon-metal substrates by plasma jet chemical vapor deposition (PJCVD) and plasma enchanted CVD (PECVD). PJCVD carbon films have been prepared at atmospheric pressure in argon-acetylene and argon-hydrogen-acetylene plasma mixtures. The films deposited in Ar-C2H2 plasma are attributed to graphite-like carbon films. The formation of the nanocrystalline graphite was obtained in Ar-H2-C2H2 plasma. Addition of the hydrogen gas lead to the decrease of growth rate and the surface roughness of the coatings. The carbon nanotubes were obtained by PECVD using gold-chromium catalyst particles at low (≤ 450oC; p = 40 Pa ) temperature in pure acetylene plasma. | ru |
dc.language.iso | en | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Formation of carbon nanostructures using acetylene, argon-acetylene and argon-hydrogen-acetylene plasmas | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Marсinauskas.pdf | 5,3 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.