Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223654| Title: | Микротвердость кремния, имплантированного высокоэнергетичными ионами бора |
| Authors: | Вабищевич, C. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 190-191. |
| Abstract: | Исследовано изменение микротвердости пластин кремния при высокоэнергетичной имплантации бора (5,6 - 13,6 МэВ) дозой 1.10^13 до 1.10^16 см^-2. Обнаружено упрочнение приповерхностного слоя толщиной до 1 мкм. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223654 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 190-191.pdf | 439,98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.