Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223654
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Вабищевич, C. А. | - |
dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
dc.date.accessioned | 2019-07-12T06:39:09Z | - |
dc.date.available | 2019-07-12T06:39:09Z | - |
dc.date.issued | 2007 | - |
dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 190-191. | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-476-530-3 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223654 | - |
dc.description.abstract | Исследовано изменение микротвердости пластин кремния при высокоэнергетичной имплантации бора (5,6 - 13,6 МэВ) дозой 1.10^13 до 1.10^16 см^-2. Обнаружено упрочнение приповерхностного слоя толщиной до 1 мкм. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Микротвердость кремния, имплантированного высокоэнергетичными ионами бора | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
190-191.pdf | 439,98 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.