Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173696
Заглавие документа: | Люминесцентный анализ примесного и изотопного состава монокристаллического кремния |
Авторы: | Юхневич, А. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
Дата публикации: | 2003 |
Издатель: | Москва : МИСиС |
Библиографическое описание источника: | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2003. - № 3. - С. 68-73. |
Аннотация: | Рассмотрен относительно новый метод определения примесного и изотопного состава монокристаллического кремния. Метод основан на анализе особенностей спектров низкотемпературной люминесценции кристаллов, предварительно облученных нормированным потоком жесткой радиации (гамма-квантами, нейтронами, ускоренными электронами или ионами). В результате такого облучения в объеме кристалла формируются радиационные дефекты, интенсивно люминесцирующие в «примесной» области спектра люминесценции кремния. Спектры люминесценции отдельных дефектов содержат узкие «бесфононные» линии, положение которых в спектре и их интенсивность характеризуют сорт и концентрацию атомов примеси в кристалле. Метод обеспечивает высокую чувствительность и пространственное разрешение при оценке характера распределения в кристалле ряда примесей и собственных изотопов кремния. Например, с субмикронным разрешением измеряется концентрация атомов кислорода и углерода на уровне 10"см 3. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173696 |
ISSN: | 1609-3597 |
Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ФХП |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.