Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173696
Title: Люминесцентный анализ примесного и изотопного состава монокристаллического кремния
Authors: Юхневич, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 2003
Publisher: Москва : МИСиС
Citation: Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2003. - № 3. - С. 68-73.
Abstract: Рассмотрен относительно новый метод определения примесного и изотопного состава монокристаллического кремния. Метод основан на анализе особенностей спектров низкотемпературной люминесценции кристаллов, предварительно облученных нормированным потоком жесткой радиации (гамма-квантами, нейтронами, ускоренными электронами или ионами). В результате такого облучения в объеме кристалла формируются радиационные дефекты, интенсивно люминесцирующие в «примесной» области спектра люминесценции кремния. Спектры люминесценции отдельных дефектов содержат узкие «бесфононные» линии, положение которых в спектре и их интенсивность характеризуют сорт и концентрацию атомов примеси в кристалле. Метод обеспечивает высокую чувствительность и пространственное разрешение при оценке характера распределения в кристалле ряда примесей и собственных изотопов кремния. Например, с субмикронным разрешением измеряется концентрация атомов кислорода и углерода на уровне 10"см 3.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173696
ISSN: 1609-3597
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
68-73.PDF1,08 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.