Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120021| Title: | ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ ЛОКАЛЬНОГО ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ |
| Authors: | Ильин, О. И. Коломийцев, А. С. Коц, И. Н. Лисицын, С. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | В работе представлены результаты экспериментальных исследований закономерностей ионно-стимулированного осаждения углерода методом фокусированных ионных пучков. Проведен анализ влияния тока ионного пучка, времени воздействия в точке и ускоряющего напряжения на геометрические параметры формируемых наноразмерных структур. Показано, что для формирования наноструктур с высоким аспектным соотношением минимального размера необходи-мо использовать минимальные значения тока ионного пучка (1-10 пА) и значения времени воздействия пучка в точке от 800 до 1000 мкс. Показана перспективность метода ФИП при формировании наноразмерных структур для наноэлектроники и нанодиагностики. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120021 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ильин Коломийцев.pdf | 568,37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.