Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120021
Заглавие документа: ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ ЛОКАЛЬНОГО ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ
Авторы: Ильин, О. И.
Коломийцев, А. С.
Коц, И. Н.
Лисицын, С. А.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2015
Аннотация: В работе представлены результаты экспериментальных исследований закономерностей ионно-стимулированного осаждения углерода методом фокусированных ионных пучков. Проведен анализ влияния тока ионного пучка, времени воздействия в точке и ускоряющего напряжения на геометрические параметры формируемых наноразмерных структур. Показано, что для формирования наноструктур с высоким аспектным соотношением минимального размера необходи-мо использовать минимальные значения тока ионного пучка (1-10 пА) и значения времени воздействия пучка в точке от 800 до 1000 мкс. Показана перспективность метода ФИП при формировании наноразмерных структур для наноэлектроники и нанодиагностики.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120021
Располагается в коллекциях:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Ильин Коломийцев.pdf568,37 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.