Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/111583
Заглавие документа: | К моделированию технологии изготовления миниатюрных кремниевых приборов |
Авторы: | Юхневич, А. В. Майер, И. А. Усенко, А. Е. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2014 |
Издатель: | Издательский центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
Аннотация: | Приведено описание новой компьютерной программы – модели растворения кристаллов типа алмаза Diamond-4. В модели учтено влияние непрямых соседей на вероятность реализации элементарного акта процесса – удаления одного поверхностного атома. Тип поверхностного атома обозначается тройкой чисел (f, ds, ns), где f – число первых соседей, ds – число его прямых вторых соседей, ns – число непрямых вторых соседей. Всего поверхность рассматриваемых кристаллов может включать атомы 129 различных типов: 40 односвязных, 49 двухсвязных и 40 типов трехсвязных. Атомам каждого типа приписывается вероятность удаления, соответствующая энергии их связи с кристаллом и особенностям взаимодействия с растворителем. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/111583 |
ISBN: | 978-985-553-234-8 |
Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
p.245-247.pdf | 769,06 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.