Просмотр Авторы Makarevich, Yu. V.
Результаты 1 - 2 из 2
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2012 | Controlling Boron Diffusion during Rapid Thermal Annealing with CoImplantation by Amphoteric Impurity Atoms | Makarevich, Yu. V.; Komarov, F. F.; Komarov, A. F.; Mironov, A. M.; Zayats, G. M.; Miskevich, S. A. |
| 2013 | Modeling of Thermal Processing at the Formation of Shallow Doped IC Active Regions | Komarov, A. F.; Velichko, O. I.; Zayats, G. M.; Komarov, F. F.; Miskiewicz, S. A.; Mironov, A. M.; Makarevich, Yu. V. |