Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2011 | ОПТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н. |
| 26-июн-2015 | Основы технологий микро- и наноэлектроники | Бурмаков, А. П. |
| 18-ноя-2013 | Основы технологий микро- и наноэлектроники №УД-667/р | Бурмаков, А. П. |
| 2010 | Пространственно-временное формирование эрозионных плазменных факелов при лазерном воздействии на металлические и углеродные мишени для задач технологической обработки и напыления алмазоподобных пленок : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Людчик, О. Р. | Людчик, О. Р.; Вишневская, Е. В.; Михей, В. Н.; Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А.; Гончаров, В. К.; Пузырев, М. В.; Гусаков, Г. А.; Исмаилов, Д. Р.; Петров, С. А. |
| 2015 | Разработать магнетронно-лазерные методы контролируемого осаждения наноразмерных пленочных покрытий. В рамках задания 2.6.04 «Разработка плазменно-лазерных методов синтеза, анализа и модификации наноструктурированных материалов» : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель А. П. Бурмаков | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Людчик, О. Р.; Черный, В. Е.; Прокопчик, К. Ю. |
| 2020 | Разработать процессы комбинированного магнетронно-лазерного осаждения наноразмерных пленочных покрытий с массивами частиц : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель А. Б. Бурмаков | Бурмаков, А. П.; Пархоменко, И. Н.; Людчик, О. Р.; Кулешов, В. Н.; Зайковский, Е. И.; Столяров, А. В.; Демин, Н. С. |
| 2010 | Разработать, изготовить и поставить заказчику прибор управления расходом газов ионно-плазменных технологий нанесения пленочных покрытий : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Бурмаков, А. П. | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Грень, В. В. |
| 2015 | Разработка и исследование высокоскоростных фотодетекторов на основе аморфных и поликристаллических кремний-германиевых гетероструктур: по заданию 1.2.09 Государственной программы научных исследований на 2014-2015 годы «Электроника и фотоника» : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук | Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Зайков, В. А.; Бурмаков, А. П.; Кузьмич, М. А.; Ластовская, M. В. |
| 2010 | Разработка и исследование тонких наноструктурированных слоев оксидов металлов и гетероструктур на их основе для создания высокочувствительных газовых сенсоров : отчет о НИР (заключительный) / БГУ; науч. рук. А. П. Бурмаков | Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Черный, В. Е.; Кулешов, В. Н.; Прокопьев, С. Л.; Кожевко, А. Н.; Терентьева, О. В. |
| 2014 | Разработка технологических принципов совместного использования магнетронного и лазерно-плазменного методов осаждения тонкопленочных покрытий : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель О. Р. Людчик | Людчик, О. Р.; Михей, В. Н.; Бурмаков, А. П.; Гончаров, В. К.; Пузырев, М. В.; Козадаев, К. В.; Зайков, В. А.; Черный, В. А.; Вишневская, Е. В.; Солодухо, Д. А. |
| 2014 | Разработка физико-технических основ формирования наноструктурированного оксида алюминия оптоэлектронного назначения методом магнетронного осаждения : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель О. Р. Людчик | Людчик, О. Р.; Михей, В. Н.; Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А.; Вишневская, Е. В.; Солодухо, Д. А. |
| 2013 | Свойства нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана | Комаров, Ф. Ф.; Пилько, В. В.; Константинов, С. В.; Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А. |
| 2001 | Синтез пленок нитрида углерода в плазме ВЧ разряда | Комаров, Ф. Ф.; Никифоренко, Н. Н.; Лабуда, А. А.; Камышан, А. С.; Пилько, В. В.; Бондаренок, В. П.; Бурмаков, А. П. |
| 25-окт-2016 | Система управления газовым напуском для магнетронных технологий нанесения пленочных покрытий | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Столяров, А. В. |
| 2003 | Спектроскопическая система контроля процессов формирования покрытий для установок вакуумно-плазменной технологии | Никифоренко, Н. Н.; Бурмаков, А. П.; Лабуда, А. А.; Сиколенко, А. Е. |
| 2007 | Спектроскопическое исследование физико-химических особенностей плазмы комбинированного СВЧ-НЧ-разряда | Шинкевич, Ю. С.; Бордусов, С. В.; Никифоренко, Н. Н.; Бурмаков, А. П. |
| 19-ноя-2013 | Технологии элементов микро- и наносистем № УД-677/р | Бурмаков, А. П. |
| 2001 | Управление расходом газов в процессах ионно-лучевого осаждения покрытий на основе оксидов | Бурмаков, А. П.; Никифоренко, Н. Н.; Чёрный, В. Е. |
| 2014 | Управляемое магнетронное осаждение пленок оксида индия олова ITO с оптимальными свойствами | Зайков, В. А.; Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Людчик, О. Р. |
| янв-2010 | Управляемое магнетронное осаждение пленок оскида тантала с электретными свойствами | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н. |