Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/284255| Заглавие документа: | Разработать процессы комбинированного магнетронно-лазерного осаждения наноразмерных пленочных покрытий с массивами частиц : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель А. Б. Бурмаков |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. Пархоменко, И. Н. Людчик, О. Р. Кулешов, В. Н. Зайковский, Е. И. Столяров, А. В. Демин, Н. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Аннотация: | Объектами исследования являются пленочные покрытия, формируемые комбинированной магнетронно-лазерной плазмой в вакуумных условиях. Цели работы – исследование комбинированной магнетронно-лазерной плазмы в вакуумных условиях и разработка процессов комбинированного осаждения наноразмерных пленочных покрытий с массивами частиц. Основные методы исследований: эмиссионная спектроскопия, электронная микроскопия, силовая атомная микроскопия, спектрофотометрия, комбинационное рассеяние и наноиндентирование. В работе использовались вакуумная установка УВН, лазер LS-2134D, монохроматор МДР-12, спектрометр S100, электронные микроскопы Hitachi S-4800 и LEO-1455 VP, зондовый микроскоп SOLVER P47 PRO. В результате создана методика магнетронно-лазерного осаждения и получены покрытия, обладающие высоким поверхностным плазмонным резонансом. Разработаны структурная схема и макет системы стабилизации процессов реактивного магнетронного распыления. Комбинированным магнетронно-лазерным осаждением получены пленочные структуры Ti/TiC/C, представляющие собой последовательное нанесение пленки Ti, карбида TiC и алмазоподобной углеродной пленки С. Результаты работы могут быть использованы для отработки технологий формирования наноразмерных пленочных покрытий различного назначения, для создания покрытий с высоким поглощением. Методика комбинированного осаждения пленок карбида TiC и трехслойных структур Ti/TiC/C может использоваться для формирования покрытий с высокими механическими свойствами. |
| Регистрационный номер: | Рег. № НИР 20161809 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/closedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты 2020 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Отчет 20161809 Бурмаков.docx | 2,95 MB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.