Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/89477| Заглавие документа: | Оптический контроль процесса ионной очистки подложек перед напылением |
| Авторы: | Климович, И. М. Зайков, В. А. Пилько, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника: Материалы IX Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–21 нояб. 2013 г. – Минск, 2013. - С. 181. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/89477 |
| ISBN: | 978-985-553-157-0 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Квантовая электроника |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.